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專利號:200810061635
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一種薄膜殘余應力成分的分析裝置

本發明公開了一種薄膜殘余應力成分的分析裝置。它包括繼電器式溫度控制儀、加熱片驅動電路、基板夾具、干涉儀、計算機,繼電器式溫度控制儀依次與加熱片驅動電路、基板夾具、干涉儀、計算機相連接,基板夾具包括第一銅片、第二銅片、鋁片、鐵夾片、樣品固定圓孔、熱電阻、MCH加熱片,第一銅片背面固定有熱電阻和兩片MCH加熱片,第一銅片兩側設有固定凹槽,第二銅片插入第一銅片兩側設有的固定凹槽內,第二銅片上端兩側固定有兩片鐵夾片,在兩片鐵夾片上夾有鋁片,鋁片上開有樣品固定圓孔。本發明是一非破壞性檢測方法,具有操作方便、量測迅速、精密度高、可同時測定多種參數和進行應力成分分析等優點。

一種薄膜殘余應力成分的分析裝置

一種薄膜殘余應力成分的分析裝置,其特征在于包括繼電器式溫度控制儀(1)、加熱片驅動電路(2)、基板夾具(3)、干涉儀(4)、計算機(5),繼電器式溫度控制儀(1)依次與加熱片驅動電路(2)、基板夾具(3)、干涉儀(4)、計算機(5)相連接,基板夾具(3)包括第一銅片(6)、第二銅片(7)、鋁片(8)、鐵夾片(9)、樣品固定圓孔(10)、熱電阻(11)、MCH加熱片(12),第一銅片(6)背面固定有熱電阻(11)和兩片MCH加熱片(12),第一銅片(6)兩側設有固定凹槽,第二銅片(7)插入第一銅片(6)兩側設有的固定凹槽內,第二銅片(7)上端兩側固定有兩片鐵夾片(9),在兩片鐵夾片(9)上夾有鋁片(8),鋁片(8)上開有樣品固定圓孔(10)。
 


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專利號: 200810061635
申請日: 2008年5月20日
公開/公告日: 2008年10月15日
授權公告日:
申請人/專利權人: 浙江大學
國家/省市: 杭州(86)
郵編: 310027
發明/設計人: 章岳光、陳為蘭、沈偉東、王穎、顧培夫、黃文彪
代理人: 張法高
專利代理機構: 浙江大學專利代理事務所(33200)
專利代理機構地址: 浙江省杭州市玉古路117號6樓浙江大學內(310013)
專利類型: 發明
公開號: 101285772
公告日:
授權日:
公告號: 000000000
優先權:
審批歷史:
附圖數: 3
頁數: 4
權利要求項數: 1
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